Abreviaturas de uso común para las actividades de fabricación de semiconductores: unidad de ventilador de filtro


La unidad de filtro de ventilador, o FFU como solemos llamarla, es un dispositivo de filtración y purificación autoalimentado, principalmente con ventiladores y filtros de alta eficiencia combinados con el final del equipo de purificación.

Su principal proceso de trabajo es:
(1)Por el procesador de aire acondicionado al aire (aire fresco) procesado en el punto de estado requerido enviado a la caja de presión estática y la mezcla de aire de retorno, y luego después de que el ventilador de la unidad de ventilador del filtro presurizado por un filtro de alta eficiencia (HEPA) o filtros de aire de ultra alta eficiencia (ULPA) se filtró en la sala limpia;
(2) El aire viejo original a través del piso elevado o la pared lateral se entrega de regreso a las bobinas secas, en las bobinas secas en el tratamiento frío (caliente), y luego por la parte posterior a la máquina presurizada enviada de regreso a la caja de presión estática, esto completa el proceso.
(3)Después del tratamiento en frío (caliente) en el serpentín seco, la prensa de retorno lo envía de regreso a la caja de presión estática, lo que completa todo el ciclo de filtración de aire en la sala limpia.

Este sistema se utiliza con mayor frecuencia en lugares donde se necesitan salas limpias ultrasilenciosas, como salas limpias para fabricar grandes obleas de circuitos integrados, pantallas TFT, discos duros de estado sólido, etc.

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En esta ocasión presentamos la terminología utilizada en las aplicaciones de semiconductores:
Planta Central de Servicios Públicos CUP
GEX General EXhaust
SEX Scrubber EXhaust
VEX Compuesto orgaico volátil EXhaust
AEX Amoníaco EXhaust
Agua de enfriamiento de proceso PCW
Vacío de proceso fotovoltaico
Aspiradora doméstica de alta tensión
Agua de la ciudad de CW
Sistema de control de monitoreo de fallas FMCS
Centro de control de motores MCC
Dispositivo de frecuencia variable VFD
Circuito cerrado de televisión CCTV
Sistema de dirección pública de PA
Sistema de alarma contra incendios FA
Agua ultra pura UPW
FWW Aguas residuales de fluoruro
IWW Industria Aguas residuales
OWW Aguas Residuales Orgánicas
Drenaje DAHW Residuos de hidruro de amoníaco
RCL Reciclar agua
RCM Recuperar agua
HFW Aguas residuales con alto contenido de fluoruro
BGW Backgriding Aguas residuales
SAW Ácido sulfúrico Aguas residuales
PAW Ácido fosfórico Aguas residuales
SW Stripper Aguas residuales
TW Diluyente Aguas residuales
PIX Pix aguas residuales PIX
SLOW Aguas residuales de lodos de óxido
SLWP Aguas residuales de lodos metálicos
Aguas residuales de lodo de polietileno SLWP
PN2 Proceso N2
GN2 Generalidades N2
Compresor CDA de aire seco
Caja de colector de válvulas VMB
 
Sistema de aire acondicionado         
Unidad de tratamiento de aire AHU
Unidad de aire de reposición MAU
Caja de volumen de aire variable VAV
Unidad de filtro de ventilador FFU
Filtro de partículas HEPA de alta eficiencia
Filtro de penetración ultra baja ULPA
Ducha de aire A/S
Planta Central de Servicios Públicos CUP
 
Sistema de alimentación             
Sistema de control de monitoreo de fallas FMCS
Centro de control de motores MCC
Dispositivo de frecuencia variable VFD
Circuito cerrado de televisión CCTV
Control de supervisión SCADA y adquisición de datos
Centro de control de motores MCC
Dispositivo de frecuencia variable VFD